оксид, сформированный методом фотохимического осаждения из паровой фазы

fotocheminiu gariniu būdu nusodintas oksidas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. photochemical vapor deposition oxide; photox vok. fotochemische Gasphasenabscheidung, f rus. оксид, сформированный методом фотохимического осаждения из паровой фазы, m pranc. déposition photochimique d'oxyde en phase vapeur, f